|
ArF |
KrF |
XeCl |
Длина волны* |
193 нм |
248 нм |
308 нм |
Конструкция |
металлокерамика |
Предыонизация |
искровая |
Номинальная энергия импульса |
250 мДж |
400 мДж |
300 мДж |
Средняя мощность CL 7020 CL 7050 CL 7100 |
5 Вт 10 Вт 20 Вт |
8 Вт 20 Вт 35 Вт |
6 Вт 15 Вт 25 Вт |
Макс. частота CL 7020 CL 7050 CL 7100 |
20 Гц 50 Гц 100 Гц |
Длительность импульса1 |
17 нс |
20 нс |
20 нс |
Стабильность энергии импульсов |
ср.квадр.откл. < 2% |
Размер пучка1 |
6 x 20 мм |
6 x 21 мм |
7 x 22 мм |
Расходимость пучка1 |
1.5 x 4.5 мрад (стабильный резонатор) |
Синхронизация |
< 2 нс |
Сервис-интервал окон, имп.2 |
50 млн |
100 млн |
200 млн |
Габариты, (вес) |
1350д x 375ш x 710в мм (170 кг) |
Охлаждение CL 7020
CL 7050
CL 7100
|
воздушное
водяное < 1 литр/мин
водяное < 3 литр/мин
|
Питание CL 7020 CL 7050 CL 7100 (трехфазное) |
220В / 50Гц, 10А, не более 1500 ВА
220В / 50Гц, 10А, не более 1800 ВА
380/220В, 50Гц, 10А, не более 3500 ВА
|
Газ |
1 баллон со смесью |
Управление |
RS 232, DOS/Windows |